TU Ilmenau entwickelt Verfahren zur Produktion im Nanometerbereich

Da die zunehmende Verkleinerung von Bauelementen auf Größen bis zu unter 10 Nanometern die Produktion vor immer größere Schwierigkeiten stellt, wird das Graduiertenkolleg „Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab)“ innovative Fertigungsverfahren im Nanometerbereich für großflächige zwei- und dreidimensionale Strukturen entwickeln. Solche Arbeiten erfolgen an Nanopositionier- und Nanomessmaschinen größter Präzision. Unter Einsatz von spitzen- und laserbasierten Techniken werden die Wissenschaftler um den Sprecher des Graduiertenkollegs, Professor Eberhard Manske, alternative Lithographieverfahren erarbeiten, mit denen zum Beispiel Präzisionsoptiken mit neuen, bislang nicht möglichen optischen Eigenschaften gefertigt werden können.

Ansprechpartner:
Prof. Eberhard Manske
Sprecher Graduiertenkolleg NanoFab
TU Ilmenau
Tel. +49 3677 69-1250
eberhard.manske@tu-ilmenau.de

Presseveröffentlichung vom 19.05.2017

Quelle

Prüfstand für Atome
Wie Krebszellen die Lunge fluten

Ähnliche Beiträge

Menü