Cluster-Tool beobachtet Hochtemperatur-Prozesse in funktionalen Dünnschichten

Eine internationale Forschergruppe um Dr. Matthias Krause vom Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) hat ein neues Cluster-Tool aufgebaut und in Betrieb genommen. Mit diesem lassen sich funktionale Schichten im Nano- bis Mikrometer-Bereich erzeugen und bei Temperaturen bis 800 Grad Celsius auf ihre strukturellen sowie optischen Eigenschaften „in situ“ und in Echtzeit untersuchen. So wollen die Wissenschaftler ein verbessertes Verständnis der Prozesse gewinnen, die bei hohen Temperaturen in mehrlagigen funktionalen Dünnschichten ablaufen.

Ansprechpartner:
Dr. Matthias Krause
Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung am HZDR
Dresden-Rossendorf
Tel. +49 351 260-3578
matthias.krause@hzdr.de

Presseveröffentlichung vom 23.08.2018

Quelle

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